RID-ACE クリーニング・ユニット

概要

チャンバーのクリーニング時に発生する臭気は、HCl、HF、Cl₂等有毒なガスが多く、クリーニング時の労働環境を悪化させ、作業性にも支障をきたしています。これらのガスをTLV値以下にして、作業性を向上させます。

原理

システム構成

使用方法

1. チャンバーと本装置をNW40にて接続し、本体に具備しているブロワーでチャンバー内のガスを吸引します。
2. 有毒なガスは脱臭剤により、反応および物理吸着で除害します。
3. 微細な塵はHEPAフィルターにより除去します。
4. 排気はクリーンルーム内に戻すか、排気ダクトに排出します。
5. この処置を行った後、チャンバーのクリーニングを行うと、臭気は軽減されます。

設計条件

排気風量	最大1.1m3/min
対象ガス	酸性ガス BCl3、Cl2、HCl、COCl2、SiCl4、HF、SiF4、COF2、F2、HBr、Br2、SiBr4 SF6分解生成物
対象ガス濃度	500ppm以下
出口ガス濃度	TLV値以下
処理剤交換	ブロワー運転時間が300時間で交換 （タイマー機能）

テストデータ

風量	1.1m3/min吸引
対象装置	液晶製造工程エッチング装置
測定方法	入口ガス：ガス検知管HF用No.17 出口ガス：テープ式HFガスモニター
測定結果	出口ガス濃度100ppb以下

テスト方法

注意事項

1. 対象ガス以外のガスおよび液体の導入は、発熱の原因となりますのでご使用できません。
2. 規定の濃度以上のガス導入は、発熱の原因および能力の低下に起因しますので、ご注意下さい。

吸着剤の交換

300時間ご使用後は、吸着カラムを下記にご返却下さい。新規吸着剤を充填し返送します。

山口県美祢市大嶺麦川　ユー・イー・エル（株）
TEL：0837-52-2900

寸法/重量

ユーティリティ

電気	AC100V、50/60Hz、15A
吸気ポート	NW40
排気ポート	NW40