半導体ガス関連製品 Semiconductor Gas Products

三塩化ホウ素

当社が日本で初めて国産化した三塩化ホウ素は、最高品質の高純度品であり、アルミニウム配線のドライエッチングガスとして最適です。

UBE RID

ドライエッチング排ガス処理装置

半導体の製造過程で排出される各種の有害ガスを科学的・物理的に効率よく無害化する装置です。

RID-TRAPPER

固形分含有系排ガス対応 固形分捕集装置

半導体・液晶製造工程で発生する固形分を、効率良く多量に捕集が可能です。

RID-ACE クリーニング・ユニット

半導体・液晶製造工程対応 チャンバー

チャンバーのクリーニング時に発生する臭気は、HCl、HF、Cl2等有毒なガスが多く、クリーニング時の労働環境を悪化させ、作業性にも支障をきたしています。これらのガスをTLV値以下にして、作業性を向上させます。