半導体ガス関連製品 Semiconductor Gas Products

三塩化ホウ素

当社が日本で初めて国産化した三塩化ホウ素は、最高品質の高純度品であり、アルミニウム配線のドライエッチングガスとして最適です。

UBE RID

ドライエッチング排ガス処理装置

半導体の製造過程で排出される各種の有害ガスを科学的・物理的に効率よく無害化する装置です。