High-purity aqueous ammonium

Overview

半導体デバイスの高集積化、微細化が進むにつれて、シリコンウェハーの洗浄用として使用されるアンモニア水の品質もさらに高純度、高品質のものが要求されています。当社の高純度アンモニア水は、原料精製から製造、充填までの厳しい品質管理の元で一貫生産されるため、金属イオン･パーティクルが極めて少ない高品質の商品です。

Nature

化学的性質
  • 無色透明の溶液で、強アルカリ性反応を呈します。
  • 常温下でもアンモニアガスが揮散するので、特異な強い刺激臭を有し、加熱すれば更に激しく アンモニアガスが揮散します。
  • 銅、ニッケル、亜鉛、スズおよびこれらの合金を腐食します。
  • 酸あるいはハロゲンと接触すると激しく反応し、発熱します。
物理的性質
比重 （20℃） 0.8980（28％）
0.8920（30％）
比熱 （20℃） 1.0 cal/g-℃
粘度 （20℃） 1.29 cp
蒸気圧 （20℃） 0.68 kg/cm²
（30℃） 1.03 kg/cm²

Features

  • 高純度・高品質
  • 金属イオンが少ない
  • パーティクルが少ない

Packing Style

特殊ポリエチレン容器

  • ドラム 170kg（200l）、90kg（100l）
  • ポリ缶 18kg（20l）
  • コンテナ 900kg（1m³）

Handling Precautions

人体への影響
  • アンモニアガスが5～10ppmで臭気を感じます。
  • 高濃度のアンモニアガスを吸引すると、せき、呼吸困難、嘔吐、肺水腫、気管支炎、肺炎となることがあります。
  • 目に入ると角膜混濁、流涙等を起こし視力障害、失明となることがあります。
  • 強いアルカリ性であるため皮膚、粘膜に対して刺激性、腐食性があります。
  • 消化器に対しては胃腸障害を起こすことがあります。
人体の保護
  • 取扱いには、保護メガネ、防毒マスク（アンモニアガス用）、ゴム手袋等の保護具を着用してください。
  • 開栓時には顔を遠ざけ、栓を少し動かして内部のアンモニアガスを放出し、圧力がなくなってから栓を外してください。
応急処置
  • 皮膚に付着した場合は、直ちに多量の水で洗浄してください。
  • 目に入った場合は、直ちに多量の水で洗浄した後、眼科医の処置を受けてください。
  • 鼻や喉が侵された場合は、2％のホウ酸水で鼻を洗い、うがいをしてください。
その他
  • 漏れた場合は多量の水で洗い流してください。
  • 漏れたガスに火気を近づけないでください。
  • 消火は多量の水で行ってください。

Storage Precautions

  • 容器を収容する建物は、十分に自然換気が行われるものか、換気装置を付けたものが望ましい。
  • 過熱されるとアンモニアガスが発生するので、直射日光を避け、容器は常に40℃以下に保ってください。
  • 容器に機械的損傷を与えないよう丁寧に扱ってください。
  • 貯蔵および取扱い場所付近には、洗顔器、安全シャワー、水道栓等を設備しておいてください。

Applicable Law

毒物及び劇物取締法 劇物
労働安全衛生法 特定化学物質
危険物船舶運送及び貯蔵規則 腐しょく性物質

Permissible Concentration

許容濃度 25ppm（18mg/m³）

Contact

本製品に関するお問い合わせはこちらから。

パフォーマンスポリマー＆ケミカルズ事業部
ファイン・工業薬品営業部 工業薬品グループ 問い合わせフォームはこちら

製品一覧へ戻る