半導体製造業界では、超LSIなどICが高集積化し高性能化するに伴い、超微細加工用のドライエッチングガスが要求されています。当社が日本で初めて国産化した三塩化ホウ素は、最高品質の高純度品であり、アルミニウム配線のドライエッチングガスとして最適です。
- 当社の独自技術による新規製法です。(日本、米国、カナダ、EUなどの諸国で特許取得)
- ホウ酸を出発原料とするクローズドシステムで、極めて純度の高い三塩化ホウ素を製造することができます。
- 高い分析力で品質を保証します。
- 原料からの一貫生産であるため品質にブレがありません。
純度 |
99.999%以上 |
不純物 |
不純物(代表的分析例、ppb)
Ag |
< 0.2 |
|
Co |
< 3.0 |
|
Mg |
< 4.0 |
|
Pb |
< 0.2 |
Al |
< 2.0 |
|
Cr |
< 0.2 |
|
Mn |
< 1.0 |
|
Sb |
< 1.0 |
Bi |
< 5.0 |
|
Cu |
< 0.5 |
|
Mo |
< 0.5 |
|
Si |
< 200 |
Ca |
< 5.0 |
|
Fe |
< 20 |
|
Na |
< 2.0 |
|
Sn |
< 10 |
Cd |
< 0.1 |
|
K |
< 4.0 |
|
Ni |
< 3.0 |
|
Zn |
< 4.0 |
※ホスゲン、塩素などの不純ガスは検出限界(ホスゲン0.2ppm、塩素1ppm)以下です。 |
外観 |
無色透明な液体 |
臭気 |
干し草様の臭い |
分子量 |
117.2 |
沸点(℃) |
12.4 |
融点(℃) |
-107 |
液密度(kg/l) |
1.434(0 ℃) |
用途 |
当社の三塩化硼素は最高品質であるため、アルミニウム配線のドライエッチングガスの他に、各種用途にも幅広く利用することができます。
- アルミニウム配線のドライエッチングガス
- CVD用ガス
- 窒化ホウ素(BN)原料
- 医薬・農薬用原料
- 触媒用原料
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荷姿 |
- 内容積 10l、 47l
- 充填量 10kg、50kg
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取扱い上の注意 |
燃焼性はありませんが、湿った空気中では激しく白煙を発して、ホウ酸と塩酸に分解します。 |
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