RID-TRAPPER RID-TRAPPER

Overview 概要

半導体・液晶製造工程で発生する固形分を、効率良く多量に捕集が可能です。配管メンテナンスの回数削減、稼働率のアップなど大きな効果が期待できます。

Features 特長

1. 大風量対応
   100L/minから2,000L/minまで対応できます。
2. 高性能フィルター
   冷却とフィルターにより高い捕集能力を示します。99%以上。
3. 操作が簡単
   カラム交換も容易です。
4. 気密テスト機能
   接続部の気密テストができます。
5. ご希望の仕様に
   装置寸法、インターロック等はお客様の要望で設計が可能です。

Specification 仕様

• ガス流入量
  100L/分～2,000L/分（型式により異なります）。
• 固形分としては塩化アルミ等があります。

Filter Structure フィルター構造

System Configuration
システム構成　200L/minタイプ

Warranty Period 保証期間

保証期間は1年間と致します。

Device Dimensions 装置寸法

Utility ユーティリティ