RID-ACE クリーニング・ユニット RID-ACE

Overview 概要

チャンバーのクリーニング時に発生する臭気は、HCl、HF、Cl2等有毒なガスが多く、クリーニング時の労働環境を悪化させ、作業性にも支障をきたしています。これらのガスをTLV値以下にして、作業性を向上させます。

Principle 原理

1. チャンバー内壁に付着した固形分は、大気中の水分と反応して有害なHCl、HFを発生します。 またエッチングに使用した残存ガスも存在しています。
2. チャンバー内に大気を導入して、固形分（ALCl3等）と水分を反応させ、発生したHCl、HF等、及び残存したガス（Cl2、BCl3、HBr等）を脱臭剤で反応および物理吸着で除害します。
3. 処理剤の交換はブロワー運転時間で管理します。

注意：対象となるガスはエッチング装置用に限定されます。
可燃性ガス等にはご使用できません

System Configuration
システム構成

Usage Instructions 使用方法

1. チャンバーと本装置をNW40にて接続し、本体に具備しているブロワーでチャンバー内のガスを吸引します。
2. 有毒なガスは脱臭剤により、反応および物理吸着で除害します。
3. 微細な塵はHEPAフィルターにより除去します。
4. 排気はクリーンルーム内に戻すか、排気ダクトに排出します。
5. この処置を行った後、チャンバーのクリーニングを行うと、臭気は軽減されます。

Design Conditions 設計条件

Test Data テストデータ

Test Method テスト方法

Precautions 注意事項

1. 対象ガス以外のガスおよび液体の導入は、発熱の原因となりますのでご使用できません。
2. 規定の濃度以上のガス導入は、発熱の原因および能力の低下に起因しますので、ご注意下さい。

Replacing The Adsorbent
吸着剤の交換

300時間ご使用後は、吸着カラムを下記にご返却下さい。新規吸着剤を充填し返送します。

山口県美祢市大嶺麦川　ユー・イー・エル（株）
TEL：0837-52-2900

Dimensions/
Weight
寸法/重量

Utility
ユーティリティ