オゾン除害装置 Ozone abatement device
Overview 概要
発電機設備、半導体表面改質工程等の設備機器において、オゾンが発生します。
低濃度でもその毒性が高く、人体への悪影響が大きいオゾンを、室温で簡便な方法で除去いたします。
Features 特長
大流量対応
最大20m3/minまで対応できます。
低圧力損失
導入総流量10m3/minにおける圧力損失は、480Paです。
簡単な装置
オゾン除害に必要な外部からのユーティリティー（電気、水等）は一切不要です。
コンパクト設計
幅φ600mm、高さ1,210mmのコンパクトサイズで、設置スペースに配慮。
装置の移動も簡便です。
Specification 仕様
-
総流量
20m³/min以下 -
供給オゾン濃度
100ppm以下。これ以上の場合はご相談により対応いたします。 -
除害剤
供給ガス種類、濃度、温度、流量等の諸条件から選定いたします。 -
その他
お客様の使用条件に合わせて設計別の酸性ガスとの混合ガスにも対応可能
Elimination Ability 除害能力
オゾン除害装置の出口ガス濃度はTLV値以下といたします。
Elimination Lifespan 除害寿命
供給ガス種類、濃度、温度、流量等の諸条件から推定いたします。
Precautions 注意事項
以下の場合は、発熱の原因、能力低下に関与しますので当方へご相談ください。
- オゾン以外のガスの導入の場合
- 規定濃度以上の場合
Device 装置
※ 前記装置は一部の例であり、お客様の要望により設計いたします。
